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LS-6042-S7 LS-7042-C8中央精機CHUO 株式會社SEIKI平臺 仕様 移動方向ステージ面クランプ方式操作部取付位置移動機構/送り方式移動量移動量/ツマミ１回転目量感度移動ガイド移動精度HV移動精度YPモーメント剛性平行度運動の平行度耐荷重質量主要材質/表面処理

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中央精機CHUO 線性馬達 AMH-13/AME-15/AME-25/AMH-15 應用 電子、半導體制造裝置（EB裝置等） 新一代半導體設備的研究開發 其他納米科技研究